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高衍射效率短波红外凸面闪耀光栅的研制与应用
，，
摘要利用矢量衍射理论对矩形槽型光栅和三角槽型光栅分别进行衍射效率分析结果表明三角槽型光栅的衍
。，、
射效率比矩形槽型光栅高出倍左右基于五轴超精密单点金刚石车床切削工艺计算了金刚石刀头移动误差
１
、，。，
移动间隔标准偏差范围光栅刻线位置的加工偏差并分析了刀头磨损对光栅衍射效率的影响在此基础上成功
、／、，
研制了曲率半径为７０ｍｍ刻线密度为６０ｌｉｎｅｍｍ直径为５２ｍｍ的凸面闪耀光栅在１０００２５００ｎｍ光谱范围
～
内，，。，
其最大相对衍射效率大于８０％平均相对衍射效率大于６０％实际飞行高光谱数据表明基于该光栅研制的
短波红外成像光谱仪满足地质遥感技术要求。
；；；；；
关键词光栅成像光谱凸面光栅衍射效率超精密加工短波红外
中图分类号文献标志码：／
Ｏ４３３Ａｄｏｉ１０．３７８８ＡＯＳ２０２０４０．１２０５００２
ＤｅｖｅｌｏｍｅｎｔａｎｄＡｌｉｃａｔｉｏｎｏｆＳｈｏｒｔｗａｖｅＩｎｆｒａｒｅｄＣｏｎｖｅｘＢｌａｚｅｄ
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ＣｏｌｌｅｅｏＡｕｔｏｍａｔｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎＮａｎｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏＡｅｒｏｎａｕｔｉｃｓａｎｄＡｓｔｒｏｎａｕｔｉｃｓ
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