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《光栅线位移测量装置（系统）校准规范》

CalibrationSpecificationofLinearDisplacementMeasurement

Device(Systems)basedonGratings

（征求意见稿）

编写说明

一、背景

基于栅类传感器作为位移传感部件构成位移测量装置（系统）在工业及科研技术领域

应用广泛，其中基于光栅传感的方式由于精度高、性价比高等技术特点而有较多应用，例如

在高端数控机床、光刻机、高精度精密仪器等重要设备常使用光栅实现位移测量。光栅作为

这些重要设备的关键核心部件是被发达国家卡脖子关键传感器件。和线纹尺一样，光栅线纹

进行长度量值传递通过刻线位置。有所区别的是，为了弥补单一刻线线制造精度的不足，光

栅线纹常按照多线平均方式使用。因光栅线纹刻线密度高、范围大，很难采用传统的线纹计

量方法实现全线纹高精度计量，但获得光栅全线纹位置偏差是高精度光栅制造及应用的技术

关键。

随着线纹尺制造以及单线纹探测及应用的需要，线纹尺的刻线间距越来越小，例如最

小分度值为0.003mm，最大测量范围为500mm的线纹尺已经在国内实现制造并应用，