《光栅线位移测量装置（系统）校准规范》实验报告.pdfVIP

实验报告

一、实验目的

验证修订的《光栅线位移测量装置（系统）校准规范》的适用性和可行性。

二、实验地点

中国计量科学研究院线纹计量实验室、光栅制造厂的计量实验室。

三、环境条件

实验过程中环境温度均在（20±2）℃，相对湿度≤70%RH。

四、实验设计

根据新修订的校准规范分别选择了国内外具有行业代表性的公司光栅线位移测量产品

进行了实验。产品分别来自德国海德汉HEIDENHAIN公司、长春禹衡光学有限公司、

大连榕树光学有限公司，北京华卓精密科技有限公司，产品覆盖了国内具有代表性的光

栅线位移测量装置（系统）产品。

五、测量标准及其他设备

1)名称:激光干涉比长仪工作基准装置；不确定度/准确度:U(0.02+0.04L)μm(k2),

L-m；

2)名称：激光干涉仪（型号XL-80，出厂编号：2AGY93）；准确度：示值误差绝对

-6

值小于0.3×10L；

六、实验结果

1)栅线位置偏差

表1-实验1

实验项目：栅线位置偏差

实验日期：2024.1.26

实验环境：温度（20±0.5）℃，湿度≤70%RH；