二极管激光吸收光谱法对双频容性耦合等离子体中氩亚稳态的诊断的开题报告.docxVIP

二极管激光吸收光谱法对双频容性耦合等离子体中氩亚稳态的诊断的开题报告

一、研究背景与意义

等离子体是处于气体放电状态下电子大量离子化、激发、电离而形成的物质状态，广泛应用于光源、电子器件、燃烧、化学反应等领域。双频容性耦合等离子体（Dual-FrequencyCapacitivelyCoupledPlasma，DF-CCP）是一种常见的等离子体，其运用于化学材料薄膜制备、半导体器件制备、表面处理等领域，是当前研究的热点之一。

在DF-CCP的研究中，诊断等离子体中气体分子的状态可以为控制等离子体工艺提供重要参考。而氩亚稳态是不稳定的氩分子激发态，其寿命较短，一般必须通过间接手段进行探测。因此，开发一种可靠且有效的诊断氩亚稳态的方法对于DF-CCP研究具有重要意义。

二、研究方法与内容

本研究将采用二极管激光吸收光谱法（DiodeLaserAbsorptionSpectroscopy，DLAS）作为探测手段，通过分析氩亚稳态吸收光谱的特征，实现对DF-CCP等离子体中氩亚稳态的诊断。

具体方法包括以下步骤：

（1）设计并搭建DLAS实验平台，选定合适的二极管激光器和检测器，并通过大气中水蒸汽的吸收光谱检验实验平台所测量的光谱分辨率和检测限等参数；

（2）确定氩亚稳态特征光谱的吸收峰位置和吸收强度特征。采集DF-CCP等离子体中的氩亚稳态吸收光谱，通过滤波器、预处理等方法去除干扰，获取氩亚稳态的特征光谱图像；

（3）利用氩亚稳态特征光谱，对DF-CCP等离子体中氩亚稳态得到分析。

三、研究预期结果与意义

本研究预计将成功建立一种诊断DF-CCP等离子体中氩亚稳态的新方法，并在其它气体分子的分析中有所应用。同时，能够为等离子体诊断技术提供新的思路和实验平台支持，促进DF-CCP等离子体的研究与应用。