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半导体发光二极管基本知识和工艺简介

导言

自从60年代初期GaAsP红色发光器件小批量出现进而十年后大批量生产以来,发

光二极管新材料取得很大进展。最早发展包括用GaAsP制成的同质结器件,以及GaP

1-xx

掺锌氧对的红色器件,GaAsP掺氮的红、橙、黄器件,GaP掺氮的黄绿器件等等。到了

1-xx

80年代中期出现了GaAlAs发光二极管,由于GaAlAs材料为直接带材料,且具有高发光

效率的双异质结结构,使LED的发展达到一个新的阶段。这些GaAlAs发光材料使LED

的发光效率可与白炽灯相媲美,到了1990年,Hewlett-Packard公司和东芝公司分别提

出了一种以AlGaIn材料为基础的新型发光二极管。由于AlGaIn在光谱的红到黄绿部分

均可得到很高的发光效率,使LED的应用得到大大发展,这些应用包括汽车灯(如尾灯

和转弯灯等),户外可变信号,高速公路资料信号,户外大屏幕显示以及交通信号灯。近

几年来,由于CaN材料制造技术的迅速进步,使蓝、绿、白LED的产业化成为现实,

而且由于芯片亮度的不断提高和价格的不断下降,使得蓝、绿、白LED在显示、照明等

领域得到越来越广泛的应用。

本课程将介绍LED的基本结构、LED主要的电学、光度学和色度学参数,并简单介

绍LED制造主要工艺过程。

1.发光二极管(LightEmittingDiode)的基本结构

图1是普通LED的基本结构图。它是用银浆把管芯装在引线框架(支架)上,再

用金线把管芯的另一侧连接到支架的另一极,然后用环氧树脂封装成型。

组成LED的主要材料包括:管芯、粘合剂、金线、支架

和环氧树脂。

1.1管芯

事实上,管芯是一个由化合物半导体组成的PN结。由

不同材料制成的管芯可以发出不同的颜色。即使同一种材

料,通过改变掺入杂质的种类或浓度,或者改变材料的组

份,也可以得到不同的发光颜色。下表是不同颜色的发光图1普通LED基本结构图

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二极管所使用的发光材料。

表1不同颜色的发光二极管所使用的发光材料

发光颜色使用材料

普通红磷化镓(GaP)

高亮度红磷砷镓(GaAsP)

超高亮红镓铝砷(GaAlAs)

超高亮红镓铟铝磷(AlGaInP)

普通绿、黄绿磷化镓(GaP)

高亮绿镓铟铝磷(AlGaInP)

超高亮绿氮化镓(GaN)

普通黄、橙磷砷镓(GaAsP)

超高亮黄、橙镓铟铝磷(AlGaInP)

蓝氮化镓

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