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SU-8微纳米流体通道制作方法研究的开题报告

一、选题背景及意义

微纳米流体通道作为微流控芯片的主要组成部分，在生物医学、化学、物理等领域有着广泛应用。SU-8是一种常用于微纳米芯片制作的光刻胶材料，由于其具有高分辨率、低表面粗糙度、高质量、较高的成本效益等特点，因此在微纳米流体通道制作中得到了广泛的应用。

然而，在SU-8微纳米流体通道制作过程中，存在着一定的制作难度和技术问题，如对光刻曝光和洗涤等参数的严格控制要求，其制作难度较高，特别是在制作尺寸较小、通道结构相对复杂的微纳米流体通道时更为突出。因此对该领域的研究具有十分重要的意义。

二、研究目的及内容

本项目旨在探究SU-8微纳米流体通道的制作方法，并针对其存在的具体问题进行深入分析和研究。具体内容如下：

1.建立SU-8微纳米流体通道的制作方法，比较不同制作方法所得流体通道性能的异同；

2.系统性分析SU-8微纳米流体通道制作中主要问题，并提出相应的解决方法和技术方案；

3.实验验证不同制作方法的可行性和效果，并探究适合不同应用场景的制作方法。

三、研究方法

本项目主要采用实验研究方法，具体步骤如下：

1.准备所需实验材料和设备，包括SU-8光刻胶、曝光机、烘箱等；

2.设计不同尺寸和结构的微纳米流体通道，制作流程包括光刻曝光、洗涤、开孔等；

3.对不同制作方法所得流体通道进行特性测试，如通道宽度、孔径大小、流体阻力等；

4.对比不同制作方法所得流体通道的性能和可行性，分析其优缺点和适用场景；

5.根据实验结果，提出相应的技术改进和优化方案，并进行实验验证。

四、预期成果和意义

通过本项目的研究，旨在建立高效、准确的SU-8微纳米流体通道制作方法，并克服该领域内制作难度较高、存在技术问题的现状。本项目预期成果包括：

1.建立适用于不同场景下的SU-8微纳米流体通道制作方法，比较各种方法所得结果的异同；

2.具体分析SU-8微纳米流体通道制作过程中的主要问题并提出相应技术方案，为该领域的研究提供有益借鉴；

3.验证不同制作方法的可行性和效果，为后续微纳米流体通道的设计和制作提供参考和依据；

4.推动微纳米流体通道的进展和发展，为相关领域的学术和工程应用研究提供支撑。