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ppt课件ppt课件扫描探针显微镜4、其它激光测量技术原子力显微镜的原理AFM-D3100ppt课件激光多普勒测速技术4、其它激光测量技术1842年奥地利科学家Doppler等人首次发现，任何形式的波传播，由于波源、接收器、传播介质或散射体的运动，会使频率发生变化，即所谓的多普勒频移：1964年，Yeh和Cummins首次观察到水流中粒子的散射光有频移，证实了可用激光多普勒频移技术来确定粒子流动速度。随后有人又用该技术测量气体的流速。目前，激光多普勒频移技术已广泛地应用到流体力学、空气动力学、燃烧学、生物医学以及工业生产中的速度测量。ppt课件激光多普勒测速技术4、其它激光测量技术激光多普勒测速的原理：用一束单色激光照射到随流体一起运动的微粒上，测出其散射光相对于入射光的频率偏移，即所谓的多普勒频移，进而确定流体的速度。ppt课件激光多普勒测速技术4、其它激光测量技术假设波源S静止，观察者以速度v移动，波速为c。波长为λ。如果和λ相比，P离开S足够远，可把P处的波看成是平面波。单位时间P朝S方向移动的距离为υcosθ，θ是速度矢量和波运动方向的夹角。这样，单位时间内比P点静止时多接收了υcosθ/λ个波，移动的观察者所感受到的颇率增加如果已知运动方向θ、波速c和波长λ，若测量出观察者感受到的频率增加Δf，便可求出观察者的运动速度。ppt课件激光多普勒测速技术4、其它激光测量技术运动微粒上接收到的光源入射光的频率静止光源O发出一束频率为的单色光，该单色光入射到与被测流体一起运动(速度为)的微粒Q上，微粒Q接收到的光的频率是ppt课件激光多普勒测速技术4、其它激光测量技术因此在S处接收到的散射光的频率应为常采用差频法测量多普勒频移。即将入射光与散射光混频，两

束光“混频”产生的拍频信号的

频率就是多普勒频移。S处接收到的微粒Q散射光的频率ppt课件激光多普勒测速技术4、其它激光测量技术差频法测速可分为两类：参考光束型多普勒测速：检测散射光和入射光之间的频移（多普勒频移）；双散射光束型多普勒测速：检测两束散射光之间的频差（多普勒频差）。ppt课件激光多普勒测速技术4、其它激光测量技术参考光束型测速方法的光路的原理设和分别表示参考光和散射光的电矢量的瞬时值则合成光强I应正比于合成电矢量的模平方，由四项组成ppt课件激光多普勒测速技术4、其它激光测量技术参考光束型测速方法的光路的原理光电倍增管实际感受到的合成光强可表示为光电倍增管输出的光电流正比于它接收到的光强，用复指数函数的实部表达它的规律为多普勒频移为可得若入射光在真空中的波长为?i，则有ppt课件激光多普勒测速技术4、其它激光测量技术双散射光束型多普勒测速的原理双散射光束型测速方法是通过检测在同一测量点上的两束散射光的多普勒频差来确定被测点处流体的流速的。如图所示为干涉条纹型。ppt课件激光多普勒测速技术4、其它激光测量技术血液流速的测量ppt课件激光多普勒测速技术4、其它激光测量技术光纤多普勒测速仪原理图用于血液流速测量的光纤激光多普勒测速仪原理图ppt课件激光多普勒测速技术4、其它激光测量技术管道内水流的测量测量管道内水流速度分布的激光多普勒测速系统原理图ppt课件激光扫描测径技术4、其它激光测量技术?激光扫描测量直径是1972年Zygo公司发展起来的 一种技术，有人称之为LaserTele-metricsystem， 有人称之为LasershadowGauge?近在工件外形尺寸测量中得到广泛应用，应用最多的是测量线材直径。?其原理: 用一束平行光以恒定的速度扫描线材，并由放在线材对面的光电接收器接收，投射到光电接收器上的光线在光束扫描线材时被遮断，所以光电接收器输出的是一个方波脉冲，脉冲宽度与线材直径成正比。ppt课件激光扫描测径技术4、其它激光测量技术转镜扫描测径ppt课件激光扫描测径技术4、其它激光测量技术转镜扫描测径设晶体的振荡频率为v，电机转速为n，多面体的面数 为N，透镜焦距为f，通光孔径为D，被测件扫描的 平均次数为m，则电机转动的角速度 ω=2πn反射光束转动的角速2ω线速度:V=f*2ω=4πnf一个计数脉冲对应的间距为:δ=V/v=4πnf/vd直径对应的脉冲数:A=d/δ=dv/4πnf所以:d=4πnfA/v从公式上看:v越大,分辨率越高,f越小分辨率越高ppt课件激光