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基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测
1,22*22
罗茂步扬徐静浩王向朝
1浙江大学光电科学与工程学院，浙江杭州310027
2中国科学院上海光学精密机械研究所，上海201800
摘要为实现对光学元件表面疵病的精确测量和计数，本文提出了一种基于多光谱技术的光
学元件表面疵病检测方法，该方法采用不同波长的入射光源均匀照明光学元件表面，通过暗
场显微成像系统获得不同波长下表面疵病图像。基于该方法研制了多光谱光学元件表面疵病
检测系统，获得了在365nm、405nm、436nm、486nm、550nm等多个单波长以及白光照明
条件下光学样品表面疵病和标准样品图形的检测实验结果。实验结果表明，相比传统的白光
照明检测技术，多光谱检测技术根据不同的材料性质选用不同波长的光作为入射光源，可以
明显提高系统对光学元件表面疵病的检测能力，不仅可以提高测量精度，而且可以获取白光
照明下无法检测到的疵病信息。
关键词疵病检测；散射成像；多光谱；疵病数量；检测精度
中图分类号TH741文献标识码A
OpticalElementsSurfaceDefectsMeasurement
BasedonMultispectralTechnique
1222
LuoMaoBuYangXuJinghaoWangXiangzhao
1CollegeofOpticalScienceandEngineering,ZhejiangUniversity,Hangzhou，Zhejiang310027，
China
2ShanghaiInstituteofOpticsandFineMechanics,ChineseAcademyofSciences,Shanghai201800,
China
AbstractInordertomeasureopticalelementssurfacedefectsaccurately,thispaperpresentsa
methodofopticalelementssurfacedefectsmeasurementbasedonmultispectraltechnique.
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收稿日期：年-月-日；收到修改稿日期：年-月-日
基金项目：国家自然科学基金6127520761474129)资助课题
作者简介：罗茂（1989-），男，硕士研究生，主要从事光学检测方面的研究。E-mail：zju_oeelm@zju.edu.cn
导师简介：步扬（1973-），男，博士，研究员，硕士生导师，主要从事光学精密检测方面的研究。E-mail：
buyang@siom.ac.cn
*通信联系人。E-mail:buyang@siom.ac.cn
Incidentlightsourceswithdifferentwavelengthsareusedtoilluminateopticalelementssurface
uniformly.Defectsimagesarecapturedbydarkfieldmicroscopyimagingsystemforevery
wavelength.Multispectralopticalelementssurfacedefectsmeasurementsystemisdeveloped.The
measurementexperimentsofopticalelementssurfacedefectsandstandardtestsamplesare
performe
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