真空系统技术介绍与应用课件.pptx

真空系统技术介绍与应用课件汇报人：小无名20

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真空系统技术概述01CATALOGUE

真空系统定义与分类真空系统定义真空系统是指能够产生、维持和测量真空状态的一系列设备和技术组成的系统。真空系统分类根据真空度的不同，真空系统可分为粗真空系统、中真空系统、高真空系统和超高真空系统。

早期真空技术01早期真空技术主要依赖于机械泵和油扩散泵等简单设备，用于产生低真空状态。中期真空技术02随着科技的发展，分子泵、离子泵等新型设备逐渐应用于真空系统，提