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半导体材料项目可行性评估方案
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半导体材料项目可行性评估方案
目录
TOC\h\z992前言 3
6733一、工艺方案的选择 3
20998(一)、基本要求 3
5452(二)、典型工艺技术介绍 4
14811(三)、半导体材料项目组成 6
14330(四)、工艺技术方案的选择 7
5480(五)、工艺技术方案的设计 8
25651二、半导体材料项目选址 10
14145(一)、半导体材料项目选址原则 10
25016(二)、原材料及主要辅助材料供应 11
4513(三)、交通条件 13
25965(四)
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