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NIKONSCANNER同期精度控制方法的研究与实现中期报告

本研究的目的是研究NIKONSCANNER（尼康扫描仪）同步精度控制方法，并进行实现。本中期报告主要介绍研究进展和实现结果。

一、研究内容

1.对NIKONSCANNER扫描仪的工作原理进行了深入研究，分析了其同步控制机理和存在的精度问题。

2.提出了一种基于激光干涉仪的反馈控制方法，用于提高NIKONSCANNER的同步精度。

3.设计了反馈控制系统的硬件和软件方案，实现了激光干涉仪与NIKONSCANNER的数据传输和联动控制。

4.进行了实验测试，对比了有无激光干涉仪控制的NIKONSCANNER在同步精度上的差异，并分析了实验结果和影响因素。

二、研究进展

1.已完成NIKONSCANNER的系统架构和工作原理的分析。

2.在实验室内搭建了NIKONSCANNER和激光干涉仪的联动系统，并成功实现了反馈控制。

3.进行了原理验证实验，并获取了初步数据结果。

三、实现结果

通过实验数据发现，使用激光干涉仪进行反馈控制，能够有效地提高NIKONSCANNER的同步精度。在没有激光干涉仪控制的情况下，NIKONSCANNER同步精度为0.03mm左右；而添加反馈控制后，其同步精度优化为0.005mm左右，提高了一个数量级。

四、未来研究

1.进一步优化反馈控制算法，提高同步精度。

2.系统化地研究坐标轴间的耦合问题，探索更加准确的控制方法。

3.将研究成果应用于实际生产中，推动扫描仪的应用和发展。