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湿法刻蚀的工艺优化实施方案

李高非

•项目实施的目的意义：

太阳电池的转化效率是衡量一个光伏企

业技术水平的重要标志，转化效率的提高

也是对硅材料相对成本的降低，湿法刻蚀

的使用能明显提高电池转换效率提高产品

质量，可大幅度增加企业的效益。

•实施内容

通过湿法刻蚀的采用，进而提高并联电

阻、提升电池的短路电流、提高开路电压，

并最终达到提高电池转换效率的目的。

什么是湿法刻蚀

通过滚轮和液体张力使硅片漂浮在刻蚀液液面

上，与刻蚀液接触的硅片背面和周边通过以下反应

温和地被刻蚀掉，能够同时达到周边刻蚀和背面抛

光的效果。

Si+2HNO3+6HF=H2SiF6+2HNO2+2H2O

Si+4HNO2+6HF=H2SiF6+4NO+4H2O

刻蚀槽水水水吹