104A2 尼康 L300ND显微镜作业指导书 (1).docx

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**WI-QA-104

A2

王卫

陆峰

肖敏

2018/7/7

PAGE\*Arabic9/14

**管制文档，禁止复印

1.目的:

确保首件人员能正确测量各工站所要求的尺寸

2.范围:

首件人员

3.职责:

首件人员严格按本规范操作

4.定义:

无

5.作业内容:

操作步骤说明

注意事项

步骤1：

步骤2：

步骤3：

步骤4：

步骤5：

步骤6：

步骤7：

步骤8：

1-1.显微镜操作人员需经过工程培训合格后才可上岗，出现尺寸异常时需通知当班班长并知会工程进行分析处理

1-2.如机台已切断总电源，需先开启机台下方总电源，再启动电源按钮。

1-3.非技术员、工程人员，禁止更改显微镜参数设置参数。

2-1.开启拍摄实时图像画面。

3-1.起初调整图像使用的显微镜为5倍。

4-1.起初调整图像使用的显微镜为5倍。

5-1.调整显微镜偏光合适位置使图像最佳。

6-1.量测ITO必须使用10倍镜头（”H”为高倍率，“L”为低倍率）。

7-1不同型号产品的ITO图像线宽需根据机种名称进入PDM系统进行查询确认。

7-2.如测量ITO图像线宽异常,需立刻通知班组长确认，并工程确认OK后方可正常生产。

（“EPI”为上光源，“DIA”为下光源）。

8-1.量测前图像必须清晰且倍率符合所需要求，。（仪器需校正合格确保量测无异常）

6.部件说明图:

7.操作部件说明:

7.1正面操作说明：

7.2.侧面操作说明：

7.3.背面操作说明：

7.4.各部件操作用途说明：

NO

部件名

图示

功能/用途

1

目镜

1.用于双眼确认物体及调瞳孔距离

2.调节瞳孔距离，使双眼的视场在标本上处于同一位置。

2

目镜筒

装目镜用

3

检偏器插片或旋转检偏器插片

1.插偏光片

2.用于调节偏光亮度

4

落射起偏器插片

1.插偏光片

2.仅用于落射旋转起偏器插片

5

落射照明灯箱

用于照明

6

梢式滑片插槽

用于调节灯光变化（如暗场／明场／荧光选择）

7

显微镜支臂

用于显微镜支撑

8

显微镜机身

用于支撑显微镜部件

9

旋转式物镜转换器

用于调节物镜放大倍数

10

物镜

用于放大所要测量工件的位置

11

透射照明用灯箱

用于照明

12

显微镜底座

/

用于支撑整体的显微镜

13

载物台

/

用于放置测量的部品

14

DIC插片

DIC插孔，用于DIC显微术

8.显微镜自曝光调试方法:

8.1.显微镜开机后，显示器应显示为白平衡状态（如下图一）：如果开机时发现显示器显示非白平衡状态，需按以下频骤进行调试（如下图）：

步骤

图示

开机打开程序在物镜下垫一张白纸

2显示屏上点击查看→点击拍摄控件→点击DS-Fi2设置点击→自动白平衡光→最后点击曝光（选择曝光时间在30ms～40ms），如右图

9.显微镜调机分明场与暗场两种调机方式

9.1.明场调机方式如下：

9.2.操作步骤

步骤

注意事项

步骤一：将样本放在载物台上（将载物台移到您的右（或左）侧）

将标本放置在载物台上(将载物台移到您的右（或左）侧。)

14×12型载物台可以在“粗调”模式中进行快速且大幅度的移动，也可以在“微调”模式中进行细微移动。在这两个模式之间转换时，请使用载物台粗调移动杆上的粗移动ON与OFF开关。

/

步骤二：聚焦标本

对带抛光表面的标本，请使用辅助聚焦。

/

步骤三：调节屈光度

调节屈光度可补偿左右眼之间的视差。在正确调节之后，您将发现用双眼观察变得更加容易，而且在转到不同物镜时焦点移动现象减少。请务必调节两个目镜的屈光度调节环

转动两个目镜上的屈光度调节环，使其刻线与目镜的外镜筒边缘对齐。（这是屈光度调节的标准位置.

将50×物镜置于光路中，然后使用调焦手轮聚焦标本

将5×或10×物镜置于光路中。

用右眼观察右目镜，同时用右目镜上的屈光度调节环（而不是粗／微调焦手轮）聚焦标本。用左眼观察左目镜，同时用左目镜上的屈光度调节环聚焦标本。

重复步骤3至5，直至即使物镜的放大倍率变化，图像仍保持对焦。（如右图）

步骤四：调节瞳孔距离

执行屈光度调节，然后用10X物镜聚焦图象。

调节瞳孔距离，使双眼的视在标本上处于同一位置。（如右图）

步骤五：转换所需要的物镜并重新聚焦

物镜有2.5X,5X,10X.25X,50X

将所需物镜安装到物镜转换器位置

将放大倍数低于所需物镜一级的物镜插入光路中，然后聚焦标本

将标本中