θFXZ型坐标测量机结构分析与驱动系统热误差模型的研究.pdf

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PARTONE

PARTTWO

主机结构:由底座、立柱、工

作台等组成,用于支撑和定位不同

工件

测量机的组成:包括主机、

测头、控制系统等部分

测量原理:基于测量精度:采用测量范围:根

光栅尺和读数头,高精度光栅尺和

据不同规格的

通过测量光栅尺读数头,结合先

的刻线与读数头进的信号处理技光栅尺和安装

的相对位置,计术,实现高精度方式,可实现

算出被测物体的

能力。

测量机的重复定位精度:指测量机在相同条件下重复定位的准确性。

平行度、垂直度等。

PARTTHREE

温度变化:导致材料热膨胀系数:冷却系统效果:

驱动系统组件热不同材料热膨胀冷却系统性能不

膨胀或收缩,影系数不同,导致佳,导致驱动系

响测量精度结构变形,影响统温度波动,影

测量结果响测量稳定

热误差的来源:热误差的传递路热误差对测量结

环境温度、设备径:从热源到测果的影响:导致

发热、外部热源量机结构,再到测量精度下降,

等驱动系统,最终影响产品质量和

影响测量结果生产效率

热误差来源分析:数学模型建立:模型验证与修正:

对驱动系统的热基于热误差来源通过实验验证热

误差来源进行详分析,建立驱动误差模型的准确

细分析,包括环系统的热误差数性,并根据验证

境温度、设备自学模型,为后续结果对模型进行

身发热等。误差补偿提供依据。必要的修正。

软件补偿:通过算法和软件技复合

术对热误差进行修正和补偿

硬件补偿:通过调整硬件设

备参数来减小热误差

PARTFOUR

实验设备:FXZ型坐标测量机、热误差测量系统、温度控制装置等

实验方法:对FXZ型坐

论。

实验验证方法:对FXZ型坐

量仪器获取数据

实验验证了FXZ型坐标测量机的热实验结果与理论预测基本一致,验

误差模型的

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