θFXZ型坐标测量机结构分析与驱动系统热误差模型的研究.pdf

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汇报人：

PARTONE

PARTTWO

主机结构：由底座、立柱、工

作台等组成，用于支撑和定位不同

工件

测量机的组成：包括主机、

测头、控制系统等部分

测量原理：基于测量精度：采用测量范围：根

光栅尺和读数头，高精度光栅尺和

据不同规格的

通过测量光栅尺读数头，结合先

的刻线与读数头进的信号处理技光栅尺和安装

的相对位置，计术，实现高精度方式，可实现

算出被测物体的

能力。

测量机的重复定位精度：指测量机在相同条件下重复定位的准确性。

平行度、垂直度等。

PARTTHREE

温度变化：导致材料热膨胀系数：冷却系统效果：

驱动系统组件热不同材料热膨胀冷却系统性能不

膨胀或收缩，影系数不同，导致佳，导致驱动系

响测量精度结构变形，影响统温度波动，影

测量结果响测量稳定

热误差的来源：热误差的传递路热误差对测量结

环境温度、设备径：从热源到测果的影响：导致

发热、外部热源量机结构，再到测量精度下降，

等驱动系统，最终影响产品质量和

影响测量结果生产效率

热误差来源分析：数学模型建立：模型验证与修正：

对驱动系统的热基于热误差来源通过实验验证热

误差来源进行详分析，建立驱动误差模型的准确

细分析，包括环系统的热误差数性，并根据验证

境温度、设备自学模型，为后续结果对模型进行

身发热等。误差补偿提供依据。必要的修正。

软件补偿：通过算法和软件技复合

术对热误差进行修正和补偿

硬件补偿：通过调整硬件设

备参数来减小热误差

PARTFOUR

实验设备：FXZ型坐标测量机、热误差测量系统、温度控制装置等

实验方法：对FXZ型坐

论。

实验验证方法：对FXZ型坐

量仪器获取数据

实验验证了FXZ型坐标测量机的热实验结果与理论预测基本一致，验

误差模型的