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《电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置gbt 10067.417-2023》详细解读.pptx

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    《电热和电磁处理装置基本技术条件第417部分：碳化硅单晶生长装置gb/t10067.417-2023》详细解读;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;机械安全;;;;;;;;;;压升率是指单位时间内炉膛压力上升的速率。;;红外测温法;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;碳化硅单晶生长装置应确保电气系统的安全，包括接地保护、过载保护、漏电保护等措施，以防止电气故障引发事故。;;;;;;;THANKS

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