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100-150T/H超纯水系统作业标准书
1.0目的：
正确操作超纯水设备，生产合格的超纯水，确保连续不断的为生产设备供给合
格的纯水。
厂务RO补水电导率应小于20um/cm，供水水压0.35±0.10MPa；车间RO动力补水电导率小于20um/cm，供水水压0.35±0.10MPa；厂务端RO供水水温不受控、车间RO供水水温受控20.0±2.0℃；车间用水电阻率大于17.00MΩ?cm,供水水压0.35±0.10MPa；
DI供水水温22.0±2.0℃。
2.0范围:
DI供水：生产车间；
车间RO供水：
研磨站、清洗间、切割站厂务端
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