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超纯水系统施工过程具体留意事项分析
一、超纯水系统总体介绍
随着电子工业的进展，在芯片的生产加工过程中，对于水质的要求也越来越高。为了保证生产出超大规模的集成电路，除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外，高纯水也是其中最关键的因素之一。
高纯水系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒度都有很高要求的超纯水。超纯水系统工程总体来说一般可分为三个局部：超纯水制造区(CUB局部)、超纯水抛光循环区(FAB局部)、超纯水输送管网(FAB各使用区)。其中超纯水制造区最为简单其又可分为：预处理、一次纯水处理、超纯水处理三个局部。
预处理局部主要包括：沙滤、活性炭塔(有的厂商在沙滤前还增
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