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超大规模集成电路生产工艺流程1外部尺寸和形状控制晶圆生长阶段对尺寸外形误差有严格的要求2切片工艺采用精密的钻床进行切割3内部加工磨削电镀蚀刻等4锉蚀和去除杂质通过电沉积去除表面的氧化物和杂质5轻微的打磨提高整体表面的光滑度6其他精细操作激光切割表面电镀等总结超大规模集成电路生产工艺流程包含了多个关键步骤,每个步骤都需要精确的操作和控制,以确保产品的质量这些步骤不仅涉及到原材料的选择和制备,还涉及到制造和测
超大规模集成电路生产工艺流程
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超大规模集成电路〔VeryLargeScaleIntegra
超大规模集成电路〔VeryLargeScaleIntegrationCircuit,
VLSI〕是一种将大量晶体管组合到单一芯片的集成电路,其集成度大
于大规模集成电路。集成的晶体管数在不同的标准中有所不同。从
1970年月开头,随着简单的半导体以及通信技术的进展,集成电路
的争论、进展也逐步开放。计算机里的掌握核心微处理器就是超大规
模集成电路的最典型实例,超大规模集成电路设计〔VLSIdesign〕,
尤其是数字集成电路,通常承受电子设计自动化的方式
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