原创力文档- 21
- 0
- 约1.02万字
- 约 9页
- 2024-05-25 发布于四川
- 举报
本发明公开了一种(AlFeCoNi)C高熵碳化物陶瓷涂层及其制备方法，该涂层采用磁控溅射法制成。以金属Al、Fe、Co与Ni为靶材，以高纯Ar为工作气体，C2H2或CH4为反应气体，对AlFeCoNi金属靶施加靶电流，对基体施加偏压，控制反应气体流量与工作气体流量的比例为1：40～1：5，在待沉积基体表面沉积(AlFeCoNi)C高熵碳化物陶瓷涂层；涂层沉积结束后，真空环境下冷却至50℃以下，然后向腔体充入空气至大气压，开腔取样，在基体表面得到(AlFeCoNi)C高熵碳化物陶瓷涂层。在沉积过程
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118064858A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410220272.6
(22)申请日2024.02.28
(71)申请人绵阳师范学院
地址621054
文档评论（0）