一种(AlFeCoNi)C高熵碳化物陶瓷涂层及其制备方法.pdfVIP

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2024-05-25 发布于北京
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一种(AlFeCoNi)C高熵碳化物陶瓷涂层及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种(AlFeCoNi)C高熵碳化物陶瓷涂层及其制备方法，该涂层采用磁控溅射法制成。以金属Al、Fe、Co与Ni为靶材，以高纯Ar为工作气体，C2H2或CH4为反应气体，对AlFeCoNi金属靶施加靶电流，对基体施加偏压，控制反应气体流量与工作气体流量的比例为1：40～1：5，在待沉积基体表面沉积(AlFeCoNi)C高熵碳化物陶瓷涂层；涂层沉积结束后，真空环境下冷却至50℃以下，然后向腔体充入空气至大气压，开腔取样，在基体表面得到(AlFeCoNi)C高熵碳化物陶瓷涂层。在沉积过程

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118064858A

(43)申请公布日2024.05.24

(21)申请号202410220272.6

(22)申请日2024.02.28

(71)申请人绵阳师范学院

地址621054

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