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本申请公开了一种敏感膜片、膜片制备方法及声压传感器，包括：膜片主体，自中心沿第一方向向外延伸；若干第一槽孔，所述第一槽孔设置于所述膜片主体上，且贯穿所述膜片主体两个端面，使得所述膜片主体内部两侧的空气互通，所述若干第一槽孔相对至少一条过所述中心的直径对称分布。本申请所提供的方案，通过在敏感膜片的膜片主体上设置贯穿膜片主体两个端面的若干第一槽孔，可以降低膜片主体内部的空气因温度变化而产生膨胀或收缩，从而避免使得敏感膜片测量声压时的形变量叠加膜片受到空气膨胀或收缩影响而产生的形变，进而可以实现提升声
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118067232A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410053240.1
(22)申请日2024.01.12
(71)申请人深圳光子传感科技有限公司
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