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2024-05-25 发布于四川
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一种喷淋头装夹治具及自动化清洗线.pdf

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本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开一种喷淋头装夹治具及自动化清洗线。其中喷淋头装夹治具包括吊钩、两个支撑杆和多个装夹块。两个支撑杆可拆卸连接，且两个支撑杆呈预设角度；装夹块上设置有卡口，每个支撑杆的一侧可拆卸间隔安装有两个装夹块，且任一支撑杆上的装夹块的卡口相对设置，喷淋头位于多个装夹块之间，且多个装夹块的卡口用于卡接喷淋头；吊钩可拆卸连接于一个支撑杆的端部。该喷淋头装夹治具制作简单，稳固的固定喷淋头，操作人员无需接触喷淋头，喷淋头能够完全浸没在酸洗液中，保证喷淋头酸洗时能够更加充分的接触酸

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220992076U

(45)授权公告日2024.05.24

(21)申请号202322858192.7

(22)申请日2023.10.24

(73)专利权人宁波江丰芯创科技有限公司

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