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本发明公开了一种离子束沉积系统,包括载片台和压环,所述压环位于所述载片台的上方,并能够沿所述载片台的轴线方向移动;还包括:比较片盘,其呈环状结构且设于所述载片台的外周,所述比较片盘沿其周向具有多个安装比较片的片位;所述压环具有一个透光孔,所述透光孔的形状与所述比较片适配;所述压环与所述载片台周向限位连接,且能覆盖所述比较片盘;所述载片台与所述比较片盘能够一起转动,也能够相对转动。通过结构优化,不需开腔就可实现多个比较片的自动切换作业,减少开腔更换比较片的频率,操作简单且能提高镀膜效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118064862A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202211413447.2
(22)申请日2022.11.11
(71)申请人江苏鲁汶仪器股份有限公司
地址
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