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本发明提供了一种细晶粒银靶材的制备方法，属于金属靶材制备技术领域，包括以下步骤：步骤一：将铜和银、铬、钇等元素在保护气氛下进行熔炼，得到银铜合金铸锭；步骤二：将步骤一中得到的所述银铜合金铸锭依次进行均匀化退火、多道次折角挤压、轧制、中间退火、终轧整形得到银铜合金轧板；步骤三：将步骤二中得到的所述银铜合金轧板依次进行再结晶处理和低温时效处理，得到银铜合金靶材；本发明通过材料基因工程的设计思想，通过稀土元素Y、过渡族金属元素Cr的按比例添加，借助控制多道次轧制与中间退火以及终轧后两级热处理的方法，避
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118064857A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410199559.5C22C1/02(2006.01)
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