一种可调谐深紫外探测器及其制备方法.pdfVIP

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2024-05-25 发布于四川
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本发明公开了一种可调谐深紫外探测器及其制备方法，属于光电探测技术领域，包括衬底、六方氮化硼薄膜、表面等离激元结构、氧化镓薄膜、第一电极、第二电极和第三电极；六方氮化硼薄膜固定于衬底上方，包括依次连接的第一晶域、台阶和第二晶域，第二晶域的厚度大于第一晶域，表面等离激元结构固定于台阶的斜面上；氧化镓薄膜固定于第二晶域上方，第一电极固定于氧化镓薄膜上方，第二电极固定于第一晶域上方，第三电极同时连接氧化镓薄膜和第二晶域；本发明通过表面等离激元共振效应的表面改性可以显著提高材料的光电性能，从而使探测器拥有

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118073447A

(43)申请公布日2024.05.24

(21)申请号202410232243.1H01L31/032(2006.01)

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