Fe－Pt－C系溅射靶部件、溅射靶组件、成膜方法、以及溅射靶部件的制造方法.pdfVIP

Fe－Pt－C系溅射靶部件、溅射靶组件、成膜方法、以及溅射靶部件的制造方法.pdf

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本发明提供一种能够抑制溅射时的微粒的产生的Fe－Pt－C系溅射靶部件。一种Fe－Pt－C系溅射靶部件，其具有含有Fe以及Pt的磁性相和含有C的非磁性相，在使用X射线衍射法对该溅射靶部件进行分析得到的X射线衍射图谱中，在满足25.6°≤2θ≤26.2°的条件的衍射角中具有来自于碳的衍射峰。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118076762A

(43)申请公布日2024.05.24

(21)申请号202280067861.4(74)专利代理机构北京伟思知识产权代理事务

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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用户编号：5333241143000144

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