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提供使贯通孔的形状和深度稳定化的弹性波装置和弹性波装置的制造方法。弹性波装置具有：第一基板；压电层，具有朝向第一基板的厚度方向的一个主面和另一个主面，一个主面与第一基板对置；功能电极，设置于压电层的一个主面和另一个主面中的至少一方；第二基板，具有朝向厚度方向的第一主面和第二主面、以及从第一主面贯通至第二主面的贯通孔，第一主面与压电层的另一个主面对置；过孔电极，配置于贯通孔；布线层，配置在压电层与第二基板之间，将功能电极与过孔电极电连接；以及蚀刻停止层，配置在过孔电极与布线层之间。蚀刻停止层包含具
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118077146A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202280067979.7(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任
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