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- 2024-05-29 发布于四川
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本申请涉及一种薄膜厚度的测试方法，包括以下步骤：将单侧表面面积为S的待测薄膜进行能谱扫描，获得待测薄膜中特征元素的质量分数ω，待测薄膜的质量为m；根据待测薄膜中特征元素的质量分数ω、待测薄膜的质量m、特征元素的密度ρ和待测薄膜的单侧表面面积S，得到待测薄膜的厚度h；其中，h=γ·(m·ω)/(ρ·S)，γ为1.7~2。该测试方法将含有特征元素的待测薄膜进行能谱扫描，并控制待测薄膜的单侧表面面积为S，获得待测薄膜中特征元素的质量分数ω，通过单侧表面面积S、待测薄膜中特征元素的质量分数ω和待测薄膜的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118090797A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410368308.5
(22)申请日2024.03.28
(71)申请人一汽解放汽车有限公司
地址13
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