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本发明公开了一种端面处理设备的半自动化集成进样装置，涉及激光芯片加工设备领域，包括钢体桌、机械手臂、晶舟盒、放置夹具平台、晶舟盒拖和履带控制系统，机械手臂固定安装在钢体桌顶部一侧，本发明使用晶圆片盒，代替了原来只有单个晶圆片的传递，方便批量化作业，提高了效率；利用真空吸嘴吸取晶圆片并用机械手臂传递取代人为镊子传递，提高稳定性；放置夹具长平台及其履带传动装置，取代人为镊子传递，方便批量化作业；晶舟盒拖的自动升降使上样更简单和精准化；利用圆形卡托卡住晶舟盒后，用机械手臂移动取代人为镊子传递，提高稳定
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN114104614A
(43)申请公布日2022.03.01
(21)申请号202010891806.X
(22)申请日2020.08.28
(71)申请人武汉锐晶激光芯片技术有限公司
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