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一种基于白光干涉仪的薄膜厚度测试方法.pdfVIP

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  • 2024-05-29 发布于四川
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一种基于白光干涉仪的薄膜厚度测试方法.pdf

    本发明公开了一种基于白光干涉仪的薄膜厚度测试方法，包括如下步骤：步骤1、准备多个标样薄膜；步骤2、将步骤1中的一个标样薄膜置于白光干涉仪的载物台上，将介质微球放在标样薄膜的表面上；步骤3、得到标样薄膜的上表面的干涉条纹图；步骤4、得到标样薄膜的下表面的干涉条纹图；步骤5、计算干涉条纹对比度δ；步骤6、计算标样薄膜的下表面相对于上表面对比度的变化量Δ；步骤7、构建样品薄膜干涉条纹对比度的变化量与对应的样品薄膜的薄膜厚度d的关系曲线；步骤8、根据步骤7的关系曲线，获得待测样品的薄膜厚度d。优点，本发

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118089564A

    (43)申请公布日2024.05.28

    (21)申请号202410467443.5

    (22)申请日2024.04.18

    (71)申请人南京埃米仪器科技有限公司

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