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掩模板安装装置及曝光机.pdfVIP

掩模板安装装置及曝光机.pdf

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    本实用新型提供了一种掩模板安装装置及曝光机，安装板的底部具有向上凹陷的安装槽，安装槽的底壁边缘具有真空槽；掩模板设置在安装内，且掩模板的边缘覆盖在空槽上；真空发生器通过管路与真空槽连通，真空发生器用于在真空槽上形成负压以吸附住掩模板。本实用新型技术方案在在掩模板安装在安装槽中后，掩模板的边缘会覆盖在真空槽上，通过真空发生器在真空槽产生负压，将掩模板吸附在安装槽中实现固定。通过真空吸附的方式，掩模板的受力处于边缘位置，且通过真空槽吸附能够使得掩模板的受力更加均匀，减少掩模板安装后的形变情况。同时在

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN221039777U

    (45)授权公告日2024.05.28

    (21)申请号202322340804.3

    (22)申请日2023.08.30

    (73)专利权人萍乡市海目芯微电子装备科技有

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