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本发明公开了一种高精度的光刻胶供给装置，包括驱动部和吸吐部，所述吸吐部包括：药液腔，用于暂存光刻胶；活塞，连接至所述驱动部，其中，在所述活塞移动的情况下，药液腔内的压强能够增大或减小；CUP柔性膜，连接至活塞，其中，所述CUP柔性膜按照将所述药液腔与所述活塞进行隔离的方式随活塞的移动而发生形变。本申请能够用于光刻胶溶液的精密供给，还可以适用于其他腐蚀药液等化学药液的供给。同时，能够满足从开始吐出到结束吐出时，吐出量持续保持稳定的特定。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118083343A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410407955.2
(22)申请日2024.04.07
(71)申请人深圳市向实泵业科技有限公司
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