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公开了半导体装置及其制造方法。半导体装置包括:栅电极,位于基底上;上覆盖图案,位于栅电极上;以及下覆盖图案,位于栅电极与上覆盖图案之间。下覆盖图案包括:第一部分,位于栅电极与上覆盖图案之间;以及多个第二部分,从第一部分延伸到上覆盖图案的对应的侧表面上。上覆盖图案覆盖第二部分中的每个的最顶表面。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109841673A
(43)申请公布日
2019.06.04
(21)申请号20181
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