铜的湿法原子层蚀刻方法.pdfVIP

铜的湿法原子层蚀刻方法.pdf

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本披露提供一种用于蚀刻铜的新的湿法原子层蚀刻(ALE)工艺。更具体地，本披露提供了利用新的蚀刻化学物质在湿法ALE工艺中蚀刻铜的方法的各种实施例。通过在湿法ALE工艺中利用本文披露的新的蚀刻化学物质，本披露提供了具有单层精度的铜的高选择性蚀刻。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118103962A

(43)申请公布日2024.05.28

(21)申请号202280069487.1阿卡尔古德·西塔拉姆

(22)申请日2022.09.14

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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