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本发明公开了一种双层联动硅舟，包括第一硅舟和第二硅舟，第一硅舟包括第一沟棒，第一沟棒上设有若干个第一沟槽，第二硅舟包括若干个第二沟棒，第二沟棒上设有若干个第二沟槽，还包括用以固定第一硅舟的架体，第二硅舟安装在架体上且沿着第一沟棒的轴向滑动连接，还包括用以驱动第二硅舟移动以使第二沟槽与第一沟槽相互错位的驱动件，利用驱动件驱动第二硅舟在架体上移动，解决第一硅舟和第二硅舟相对移动的问题；从而使第一硅舟上的第一沟槽和第二硅舟上第二沟槽的相互错位，实现对晶圆的夹持，从而使双层联动的硅舟能够适用不同厚度晶圆
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118099048A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410159024.5
(22)申请日2024.02.04
(71)申请人杭州盾源聚芯半导体科技有限公司
地
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