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- 2024-05-29 发布于四川
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本发明提供一种二维运动平台装置，第一滑动结构与第一运动台中心部刚性连接、两侧部柔性连接；第一运动台与第二方向测量尺中心部刚性连接、两侧部柔性连接。本发明通过第一滑动结构、第二方向测量尺与第一运动台中心刚性连接两侧柔性连接，使第二方向测量尺不随第一运动台热形变而位置漂移，提高运动台测量精度；同时设置第一解耦面、第二解耦面在第二方向长度小于安装面，减小第一运动台的热形变对第二方向测量尺位置的影响；另外设置第二柔性件为低膨胀系数材料，降低第二方向测量尺受热形变的影响；最后在第一解耦面和第二解耦面分别设
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118099077A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410502497.0
(22)申请日2024.04.25
(71)申请人上海隐冠半导体技术有限公司
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