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本公开涉及一种离子注入装置及方法，离子注入装置包括离子束引出单元、承载件以及角度探测组件。离子束引出单元用于引出离子束。承载件用于承载基板，并与离子束引出单元相对设置，以使得离子束能注入到基板。角度探测组件与承载件相连，角度探测组件用于检测离子束的角度偏移量。在将离子束引出并注入到基板过程中，同步通过角度探测组件检测离子束引出单元引出的离子束的角度，即增加了离子束注入角度实时监测的功能，可以及时检测到离子束角度偏移，减少基板产品质量受影响的风险。此外，不需要停机对离子束角度进行检测和/或调整，维
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118098915A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202211459283.7
(22)申请日2022.11.17
(71)申请人长鑫存储技术有限公司
地址23
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