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本发明公开了一种用于制备阵列薄膜的装置及制备方法，装置包括晶圆夹具、升降结构和控制器，晶圆夹具用于装夹晶圆，升降机构用于驱动晶圆夹具升降以控制晶圆夹具及晶圆与含有紧密排列微球的微球溶液浸泡接触或脱离，晶圆夹具匀速捞膜使得晶圆表面形成阵列薄膜，控制器用于控制升降机构的升降速度和提升时间；制备方法包括以下几个步骤：微球溶液的制备；将晶圆装夹在晶圆夹具内，升降机构驱动晶圆夹具下降，晶圆完全浸入微球溶液中，使得晶圆表面覆盖有阵列薄膜；升降机构驱动晶圆夹具上升，晶圆与微球溶液完全脱离，取下晶圆，干燥得到阵
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118086856A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410377425.8
(22)申请日2024.03.29
(71)申请人杭州邦齐州科技有限公司
地址3
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