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本发明涉及氮化硅素胚排胶技术,具体涉及一种氮气高效循环的排胶炉。一种氮气高效循环的排胶炉,包括炉体,所述炉体上设置有炉盖,所述炉盖中部设置有对流风机,所述对流风机带动旋转轴旋转,在旋转轴的底部设置有固定圈,在固定圈内设置有旋转叶片,在固定圈外侧设置有导流叶片,所述旋转叶片的位置高于导流叶片的位置;在对流风机旋转叶片的正下方设置有导流管,在炉体底部设置有支撑架,所述导流管的底端放置在支撑架上,在导流管的外侧固定有多层环形的、水平方向设置的料垛托板,所述料垛托板上码放有料垛,所述对流风机导流叶片位于
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118089400A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410415777.8
(22)申请日2024.04.08
(71)申请人山东理工大学
地址255000
原创力文档


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