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本申请涉及一种传感结构及其制备方法，传感结构包括可变形基底和位于可变形基底上的压电薄膜层，压电薄膜层上设有预设切割图案，预设切割图案使压电薄膜层的形状随可变形基底的形变而产生变化。传感结构的制备方法，包括提供一压电薄膜层和一可变形基底；在压电薄膜层上切割形成预设切割图案，预设切割图案使压电薄膜层的形状随可变形基底的形变而产生变化；将压电薄膜层贴附至可变形基底上，得到传感结构。本申请的传感结构能适应基底变形并保持传感功能的有效性，具有超薄柔性和良好共形能力。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118102848A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202211455145.1
(22)申请日2022.11.21
(71)申请人钱塘科技创新中心
地址3100
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