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一种真空传感器组件及其制造方法.pdfVIP

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  • 2024-05-29 发布于四川
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一种真空传感器组件及其制造方法.pdf

    本申请公开一种真空传感器组件及其制造方法，涉及真空度检测技术领域。真空传感器组件包括至少一个内壳，内壳包括底座和罩壳，罩壳开设有透气孔，底座固定有引脚，引脚穿过底座；第一真空传感器，其固定于底座上，第一真空传感器的信号传输端与引脚通讯连接；第二真空传感器，其固定于底座上，第二真空传感器的信号传输端与引脚通讯连接；外壳体，内壳固定在外壳体内，内壳的底座固定于安装孔内以使引脚裸露在外壳体外侧。可以利用第一真空传感器测量靠近大气压段的低真空段，利用第二真空传感器测量高真空段，从而有效拓宽真空度测量量程

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118090033A

    (43)申请公布日2024.05.28

    (21)申请号202410189772.8

    (22)申请日2024.02.20

    (71)申请人苏州容启传感器科技有限公司

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