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- 2024-05-29 发布于四川
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本发明公开了一种小口径熔石英强激光整形元件加工方法，包括以下步骤：S1、对小口径熔石英强激光整形元件进行超精密磨削；S2、对小口径熔石英强激光整形元件进行面形测量，为下一步的抛光修形提供指导；S3、对小口径熔石英强激光整形元件进行抛光修形；S4、对小口径熔石英强激光整形元件的面形精度和表面粗糙度进行测量，如测量结果满足要求，则完成加工，如测量结果不满足要求，则返回步骤S3。本发明采用超精密磨削和抛光修形配合的加工方式，可以实现高精度小口径非球面光学元件的加工制作。本发明工艺流程简单，可操作性强，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118081491A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410368992.7
(22)申请日2024.03.28
(71)申请人中国人民解放军国
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