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本发明适用于废气监测领域，提供了一种痕量废气监测设备，包括射流泵，射流泵的两个进气口分别连接有空压机和烟壁内部；射流泵与烟壁之间安装有第一管道三通，第一管道三通的第三管口通过分支管道连接有二级过滤器，分支管道上安有第一电磁阀，二级过滤器连接有激光检测器；空压机到射流泵方向上依次安装有三通电磁阀和第二管道三通，第二管道三通的第三管口连通分支管道，第二管道三通到分支管道方向上依次安装有第三过滤器和质量流量控制器；三通电磁阀的第三阀口连通有储气罐，储气罐接有待测气体发生器。借此，本发明灵敏度高、精准度
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118090351A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410525657.3
(22)申请日2024.04.29
(71)申请人山东中节能天融环
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