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一种用于晶圆生产离子注入的控制装置.pdfVIP

一种用于晶圆生产离子注入的控制装置.pdf

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    本发明涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆生产离子注入的控制装置，其可以通过提高筒体的盛放腔内的制备气体的控制精度；并且可以提高筒体盛放腔的制备气体的利用率；包括筒体和四组支腿，筒体的内部设置有盛放腔，盛放腔的顶端左侧连通设置有输入孔，盛放腔的顶端中部区域连通设置有输出孔；还包括左挂杆、右挂杆、支撑环、密封环、升降杆、螺纹杆、限位板和调节活塞，升降杆的中下部区域内部设置有伸缩腔；还包括横板、两组支撑架、挤压弹簧、密封塞、充气缸、恢复弹簧、左固定块、右固定块、左挡块、右挡块、

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN109148249A

    (43)申请公布日

    2019.01.04

    (21)申请号20181

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