扫描电镜图像的补偿方法、装置及存储介质、扫描电镜.pdfVIP

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2024-05-29 发布于四川
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扫描电镜图像的补偿方法、装置及存储介质、扫描电镜.pdf

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本发明公开了一种扫描电镜图像的补偿方法、装置及存储介质、扫描电镜，该方法包括：根据扫描电镜对目标样品的扫描情况，通过电子束闸对到达目标样品的电子束进行通断控制；利用探测器分别得到电子束断开时产生的第一电信号和电子束导通时产生的第二电信号；根据第一电信号和目标偏置值对与第一电信号相邻第二电信号进行补偿，并根据补偿后的第二电信号生成目标样品的扫描电镜图像。该方法通过获取电子束断开时探测器产生的第一电信号以及电子束闸导通时探测器产生的第二电信号，根据第一电信号和目标偏置值对与第一电信号相邻第二电信号进

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118098913A

(43)申请公布日2024.05.28

(21)申请号202410490781.0

(22)申请日2024.04.23

(71)申请人国仪量子技术（合肥）股份有限公司

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