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一种像素级封装钙钛矿基直接X射线成像探测器结构.pdfVIP

一种像素级封装钙钛矿基直接X射线成像探测器结构.pdf

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    本发明提供了一种像素级的钙钛矿基直接X射线成像探测器结构及探测器，本发明在每个像素周围通过3D打印刻蚀物量化学方法形成隔离结构，隔离结构用于将像素隔离开，用于减少横向漏流，克服了厚膜工艺中像素化困难，通过3D打印或刻蚀工艺形成隔离层，将钙钛矿器件进行独立封装，有效降低横向漏流，并同增加封装层，保障每个像素真正意义上独立封装，当一个像素失效后，不影响另外像素工作，保障了X射线探测器可以长期稳定工作。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118102746A

    (43)申请公布日2024.05.28

    (21)申请号202410228641.6

    (22)申请日2024.02.29

    (66)本国优先权数据

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