(32)--2.5.1 压电效应与压电材料.ppt

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1压电效应与压电材料2压电式传感器的工作原理3压电式传感器的测量电路4压电式传感器的应用第2.5章压电式传感器

压电效应与压电材料2.5.1

电压传感器概述压电式传感器是一种典型的自发电式传感器。它以某些电介质受外力作用在介质表面上产生电荷的压电效应为基础，以压电材料为力—电转换器件，把力、压力、加速度和扭矩等被测量转换成电信号输出。压电效应被测非电量电压值测量电路U、I电荷值压电式传感器具有灵敏度高、固有频率高、信噪比高、结构简单、体积小、工作可靠等优点。其主要缺点是无静态输出，因此不能用于静态参数的测量。

2.5.1压电效应与压电材料一、压电效应某些物质沿某一方向受到外力作用时，会产生变形，同时其内部产生极化现象，此时在这种材料的两个表面产生符号相反的电荷，当外力去掉后，它又重新恢复到不带电的状态，这种现象被称为压电效应。当作用力方向改变时，电荷极性也随之改变。这种机械能转化为电能的现象称为“正压电效应”或“顺压电效应”。

2.5.1压电效应与压电材料压电效应反之，当在某些物质的极化方向上施加电场，这些材料在某一方向上产生机械变形或机械压力；当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失。这种电能转化为机械能的现象称为“逆压电效应”或“电致伸缩效应”。逆压电效应电能机械能正压电效应

2.5.1压电效应与压电材料二、压电材料具有压电效应的材料称为压电材料。目前常用的压电材料是：石英晶体和人工制造的压电陶瓷、钛酸钡、锆钛酸铅等。具体分类是：压电晶体、压电陶瓷。

2.5.1压电效应与压电材料压电材料（一）石英晶体石英晶体是典型的压电晶体，化学式为SiO2，为单晶体结构。石英晶体的压电系数为d11=2.31×10-12C/N,在几百℃的温度范围内，介电常数和压电系数几乎不随温度而变化。当温度超过573℃居里点时，石英晶体完全丧失压电特性,可以承受（700～1000）kg?f/cm2的压力。石英晶体的突出优点：性能非常稳定，有很大的机械强度和稳定的机械性能。但石英材料价格昂贵，且压电系数比压电陶瓷低得多。因此一般仅用于标准仪器或要求较高的传感器中。

2.5.1压电效应与压电材料压电材料（一）石英晶体1、石英晶体的压电效应纵轴Z称为光轴，通过六棱线而垂直于光铀的X铀称为电轴，与X-X轴和Z-Z轴垂直的Y-Y轴(垂直于六棱柱体的棱面)称为机械轴。天然石英晶体，结构形状为一个六角形晶柱，两端为一对称的棱锥。在晶体学中，石英晶体各个方向的特性是不同的，用三根互相垂直的轴建立描述晶体结构形状的坐标系。ZXYO

2.5.1压电效应与压电材料压电材料（一）石英晶体1、石英晶体的压电效应ZXYO若从晶体上沿y方向切下一块晶片，如图所示：yxzOxzyacb通常把沿电轴X方向的作用力产生的压电效应称为“纵向压电效应”，把沿机械轴Y方向的作用力产生的压电效应称为“横向压电效应”，沿光轴Z方向的作用力不产生压电效应。

2.5.1压电效应与压电材料压电材料（一）石英晶体1、石英晶体的压电效应xzyacb当沿电轴x方向施加应力时，晶片将产生厚度变形，并发生极化现象。FXFX++++－－－－－－－－++++XX在垂直于x轴晶面上产生的电荷量为：从图中可知，所受拉力和压力时，产生的电荷方向相反。

2.5.1压电效应与压电材料压电材料（一）石英晶体1、石英晶体的压电效应xzyacb若在同一切片上，沿机械轴y方向施加应力，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷为：++++++++－－－－－－－－FYFYXXd11=-d12，石英晶体轴对称条件。产生电荷qxx和qxy的符号，决定于受压力还是受拉力。

2.5.1压电效应与压电材料压电材料（一）石英晶体2、石英晶体的压电效应的微观机理石英晶体具有压电效应，由内部分子结构决定的。+xy++---xy硅氧离子在Z平面上的投影一个单元组体中，构成石英晶体的硅离子和氧离子，在垂直于z轴的xy平面上的投影，等效为一个正六边形排列。“＋”代表硅离子Si4+，“－”代表氧离子O2-。正六边形排列的投影

2.5.1压电效应与压电材料压电材料（一）石英晶体2、石英晶体的压电效应的微观机理当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩为P1、P2、P3。Fx=0xy+P1P2P3--++-P1＋P2＋P3＝0此时正负电荷中心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即所以晶体表面不产生电荷，呈电中性。

2.5.1压电效应与压电材料压电材料（一）石英晶体2、石英晶体的压