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纯水检测方法.docx

纯水检测方法.docx

    纯化水

    主题内容与通用范围

    本标准给出了电力半导体器件工艺用高纯水〔以下称高纯水〕的级别、技术要求、测试方法和规章。

    本标准适用于去离子处理后的高纯水。

    引用标准

    GB11446电子级水及其检测方法。

    术语

    电导率Electricalconductivity

    在规定温度下，1cm3水溶液两相对面之间测得的电阻值的倒数。电导率通常以μS/cm为单位。

    纯水的理论电导率为0.05482μs/cm(25℃时)。

    电阻率Resistivity

    电导率之倒数。

    纯水的理论电阻率为18.248MΩ(25℃时)。温度上升时电阻率下降。

    总溶解性固体Totaldisso

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