(22)--2.3.2-类型与特性自动检测技术.ppt

Automaticdetectiontechnology《自动检测技术》

1电容式传感器的工作原理2电容式传感器的类型与特性3电容式传感器的测量电路4电容式传感器的应用第2.3章电容式传感器

电容式传感器的工作原理2.3.1

小案例：增强你对电容传感器认识指纹识别系统半导体金属阵列上能结合大约100,000个电容传感器测量电路指纹信息电容器传感器阵列

小案例：增强你对电容传感器认识电容式油量表测量电路油箱液位圆柱形电容传感器

2.3.1电容式传感器工作原理定义：以电容器为敏感元件，将被测非电量的变化转换为电容量变化的传感器。电容器特性被测非电量电容值测量电路U、I、f概述感测量：位移、振动、压力、加速度、液位、成分含量等。

2.3.1电容式传感器工作原理工作原理+++dA?两平行极板构成的电容器，其电容量为：ε：电容极板间介质的介电常数，ε0：为真空介电常数，εr：极板间介质的相对介电常数；A：两平行板所覆盖的面积；d：两平行板之间的距离。

2.3.1电容式传感器工作原理工作原理+++dA?两平行极板构成的电容器，其电容量为：d、A或ε发生变化时，都会引起电容量的变化。变极距型变面积型变介质型

一、变面积式电容传感器（1）角位移变面积型2.3.2电容式传感器的类型与特性

2.3.2电容式传感器的类型与特性变面积式电容传感器（1）角位移变面积型θ定片动片初始：动极板旋转后：灵敏度：线性

（2）直线位移变面积型abxx2.3.2电容式传感器的类型与特性变面积式电容传感器

（2）直线位移变面积型当其中一个极板发生Δx位移后，改变了两极板间的遮盖面积A，电容量C同样随之变化。线性2.3.2电容式传感器的类型与特性变面积式电容传感器灵敏度：

（3）圆筒形位移变面积型2.3.2电容式传感器的类型与特性变面积式电容传感器

（3）圆筒形位移变面积型2r2RLx初始时，x=0,电容C0为：当内筒上移x时，内外筒间的电容Cx为：与x成线性关系2.3.2电容式传感器的类型与特性变面积式电容传感器灵敏度:

共同特点：随着位移增加，电容量减小2.3.2电容式传感器的类型与特性变面积式电容传感器

2.3.2电容式传感器的类型与特性角位移变面积式传感器线位移变面积式传感器圆筒形位移变面积传感器电容传感器的基本原理小结：

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