6.第六章--氢还原.pptVIP

****************1、原理如果将升温后的冷却水简单地用循环水冷却后再返回冷却炉筒，那么，被炉筒冷却水带走的热能就白白地浪费掉了。而且，还需要一整套热交换设备及大量的循环水供给。1、原理在对还原炉筒进行冷却时，炉筒冷却水的出水温度从130℃逐步上升到170℃左右，这样的热水完全可以用来产生低压蒸汽，这种低压蒸汽可用于多晶硅生产中。1、原理在对还原炉筒进行冷却时，炉筒冷却水的出水温度从130℃逐步上升到170℃左右，这样的热水完全可以用来产生低压蒸汽，这种低压蒸汽可用于多晶硅生产中。1、原理“闪蒸”又称为平衡蒸馏，是一个连续稳定过程，当加热到一定温度的液体经节流阀或骤然减压到规定压力，由于压力降低，液体在较低温度下沸腾，液体降温释放出的显热作为部分液体的汽化潜热，部分液体迅速汽化，汽液两相在容器中分开，得到的蒸汽从容器顶部送出。2、工艺流程示意图热介质出热能使用设备冷介质进还原炉热能使用设备、锅炉房等膨胀槽汽化器蒸汽温水罐3、过程控制还原生产中，会产生大量热能，如直接弃置于环境自然造成能源的巨大浪费和明显的环境热影响。将这些大量的热能利用起来，既不造成能源浪费也不影响环境，同也降低了多晶硅生产成本。3、过程控制我们可以对它做如下热能综合利用：01可用于对干法回收吸附柱的活性碳进行再生