GB/T 40577-2021集成电路制造设备术语.pdf

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  • 2024-06-13 发布于四川
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  •   |  2021-10-11 颁布
  •   |  2022-05-01 实施

ICS31.220

CCSL95GB

中华人民共和国国家标准

GB/T40577-2021

集成电路制造设备术语

Terminologyforintegratedcircuit(IC)manufacturingequipment

2021-10-11发布2022-05-01实施

国家市场监督管理总局串士

国家标准化管理委员会~llJ

GB/T40577-2021

目次

前言…………ill

1范围……··

2规范性引用文件…·

3基础术语…

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