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- | 2021-10-11 颁布
- | 2022-05-01 实施
ICS31.220
CCSL95GB
中华人民共和国国家标准
GB/T40577-2021
集成电路制造设备术语
Terminologyforintegratedcircuit(IC)manufacturingequipment
2021-10-11发布2022-05-01实施
国家市场监督管理总局串士
国家标准化管理委员会~llJ
GB/T40577-2021
目次
前言…………ill
1范围……··
2规范性引用文件…·
3基础术语…
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